SEM掃描電子顯微鏡是介于透射電鏡和光學顯微鏡之間的一種微觀形貌觀察手段，可直接利用樣品表面材料的物質性能進行微觀成像。它由電子光學系統(tǒng)、信號收集及顯示系統(tǒng)、真空系統(tǒng)和電源系統(tǒng)組成，應用于生物、醫(yī)學、材料和化學等領域。
SEM掃描電子顯微鏡的結構組成：
1、電子光學系統(tǒng)
組成：電子槍、電磁透鏡、掃描線圈和樣品室等部件。
作用：獲得掃描電子束、作為產生物理信號的激發(fā)源。
2、信號收集和顯示系統(tǒng)
信號收集：二次電子和背散射電子收集器、吸收電子顯示器、X射線檢測器(波譜儀和能譜儀)
顯示系統(tǒng)：顯示屏有兩個，一個用于觀察，一個用于記錄照相。
3、真空系統(tǒng)
組成：機械泵、擴散泵
作用：保證電子光學系統(tǒng)正常工作，提供高真空度，防止樣品污染，保持燈絲壽命，防止極間放電。
4、電源系統(tǒng)
包括啟動的各種電源，檢測-放大系統(tǒng)電源，光電倍增管電源，真空系統(tǒng)和成像系統(tǒng)電源燈。還有穩(wěn)壓、穩(wěn)流及相應的安全保護電路。
SEM掃描電子顯微鏡從原理上講就是利用聚焦得非常細的高能電子束在試樣上掃描，激發(fā)出各種物理信息。通過對這些信息的接受、放大和顯示成像，獲得測試試樣表面形貌的觀察。它的制造依據(jù)是電子與物質的相互作用。
